Das Anlagensystem muss saubere Chemikalien, ultra reines Wasser und sauberes Prozessgas für das gesamte Fab bieten. Dadurch werden hohe Anforderungen an die Stabilität und Konsistenz der in jedem Abschnitt verwendeten Filterelemente vorgelegt. Hangzhou DALIs großes Durchflussfilterelement, Sicherheitsfilterelement, hochpräzises Faltfilterelement und perfluorierte Filterelement Produktreihe bieten einen stabilen Filterservice für das Werkssystem.